JEOL JSM-IT510 InTouchScope™ seriyasiga mansub analitik skanerlash elektron mikroskopi (SEM) bo'lib, namunalarning yuqori ajrata olish qobiliyatiga ega tasvirlarini olish, morfologik tuzilishini o'rganish hamda Oxford Instruments Aztec Advanced dasturiy ta'minotiga integratsiyalashgan energodispersion rentgen spektroskopiyasi (EDS/EDX) tizimi yordamida elementar tarkibiy tahlilini o'tkazish uchun mo'ljallangan.
Qurilma yuqori vakuum va past vakuum (variable pressure) rejimlarida ishlash imkoniyatiga ega bo'lib, bu o'tkazuvchan hamda o'tkazmaydigan (nometall, biologik, polimer va boshqa) namunalarni ham maxsus qoplamasiz tekshirish imkonini beradi. Qurilma Live EDS, Live 3D, Zeromag va Simple SEM kabi avtomatlashtirilgan funksiyalar bilan jihozlangan bo'lib, bu tahlil sifati va tezligini oshiradi.
Aztec Advanced — Oxford Instruments kompaniyasining zamonaviy dasturiy-apparat kompleksi bo'lib, silikon-drift detektor (SDD) asosida ishlaydi. U namunaning kimyoviy tarkibini nuqtali, chiziqli va xaritalash (mapping) rejimlarida sifat va miqdoriy jihatdan tahlil qilish, shuningdek real vaqt rejimida (Live EDS) elementlar xaritasini kuzatish imkonini beradi.
|
Elektron manbasi |
Volfram (W) katod (termoemission) |
|
Tezlatuvchi kuchlanish |
0,3 – 30 kV |
|
Ajrata olish qobiliyati (yuqori vakuum) |
3,0 nm (30 kV da) |
|
Ajrata olish qobiliyati (past vakuum) |
4,0 nm (30 kV, BED tasvir) |
|
Kattalashtirish diapazoni |
x5 – x300 000 (to'g'ridan-to'g'ri) |
|
Vakuum rejimlari |
Yuqori vakuum va past vakuum (o'zgaruvchan bosim) |
|
Namuna stoli |
Eutsentrik tipdagi, X: 125 mm, Y: 100 mm, Z: 80 mm, egilish: -10°...90°, aylanish: 360° |
|
Maksimal namuna o'lchami |
≈100 mm diametr |
|
Detektorlar |
Ikkilamchi elektron detektori (SED), orqaga sochilgan elektron detektori (BED, quadrant tipida) |
|
Avtomatik funksiyalar |
Fokus, stigmator, yorqinlik/kontrast, gun alignment avtomatik sozlanishi |
|
Qo'shimcha imkoniyatlar |
Live 3D sirt rekonstruksiyasi, Zeromag, Simple SEM avtomatlashtirilgan tasvir olish |
|
Detektor turi |
Silikon-drift detektor (SDD), suyuq azotsiz sovutish tizimi |
|
Detektor sathi |
30 – 170 mm² (konfiguratsiyaga bog'liq) |
|
Energetik ajrata olish qobiliyati |
≤ 129 eV (Mn-Kα chizig'ida) |
|
Aniqlanadigan elementlar diapazoni |
Bor (B, Z=5) dan Kaliforniy (Cf, Z=98) gacha |
|
Maksimal hisoblash tezligi |
> 1 000 000 hisob/soniya (cps) |
|
Tahlil rejimlari |
Nuqtali, chiziqli skanerlash, maydonlarni xaritalash (mapping) |
|
Dasturiy ta'minot |
Aztec (Oxford Instruments) — sifat va miqdoriy tahlil, standartsiz kvantifikatsiya (Tru-Q algoritmi) |
|
Qo'shimcha funksiyalar |
Live EDS spektri, Live X-ray xaritalash, avtomatik zarrachalar/feature tahlili |
Materialshunoslik va metallurgiya — mikrotuzilma va faza tarkibini o'rganish
Yarim o'tkazgichlar va yupqa plyonkalar — sirt morfologiyasi va element taqsimotini tahlil qilish
Nanotexnologiya — nanozarralar va nanostrukturalarning o'lchami hamda shaklini aniqlash
Geologiya va mineralogiya — minerallarning fazaviy va elementar tarkibini aniqlash
Biologiya va tibbiyot — biologik namunalarning sirt tuzilishini o'rganish
Sifat nazorati va sanoat diagnostikasi — nuqsonlarni aniqlash va tarkibni tekshirish
Telefon: +99871 235 93 61
Faks: +99871 235 42 91
E-mail: ftikans@uzsci.net
Manzil: O'zbekiston, 100084, Toshkent sh., Chingiz Aytmatov ko'chasi, 2B uy